真空燒結爐遇故障的緊急措施 　　在真空燒結爐中，利用中頻感應加熱的原理，在燒結爐中排空后，利用中頻感應加熱的原理，在燒結爐中產(chǎn)生鎢坩堝，使線圈中的鎢坩堝通過熱輻射進行工作，并對鐵及其合金進行粉末形成和燒結。安裝電爐的地方必須符合真空衛(wèi)生的要求。周圍空氣應干凈干燥，通風狀況良好，工地不易揚塵等。在使用中，必須了解以下問題。 　　真空燒結爐主要用于半導體元件和功率整流裝置的燒結過程，可進行真空燒結、氣體保護燒結和常規(guī)燒結，是一系列半導體特種設備中的一種新型工藝設備，可在一個裝置上完成多個工藝流程。還可用于其它領域，如真空熱處理、真空真空焊接等。下面，系統(tǒng)介紹了燒結爐的應急措施。 　　***，異常冷卻水 　　1.核實加熱電源是否停止。 　　2.當爐外發(fā)生泄漏，冷卻水量異常時，應盡快采取應急措施。如果能保證水量，請繼續(xù)保持真空，如果不能采取緊急措施，保持原狀，并確認設備已冷卻。 　　3.冷卻水不正常時，設備處于停機狀態(tài)，應急冷卻水立即接通。 　　4.在高溫下，如果冷卻水停止，如果不能緊急供水，則水冷電極、熱交換器、真空燒結爐的真空室殼體和泵可能損壞。 　　第二，壓縮空氣的停止。 　　1.壓縮空氣異常時，設備處于停機狀態(tài)，備用壓縮機房盡快恢復，恢復工作。 　　2.如果壓縮空氣在真空燒結爐真空中出現(xiàn)異常報警，且恢復時間長，則真空終止，設備停止。

　　真空燒結爐是利用了感應加熱對被加熱物品進行保護性燒結的爐子，可分為工頻、中頻、高頻等類型。是在真空的環(huán)境中對被加熱物品進行保護性燒結的爐子，其加熱的方式比較多，如電阻加熱、感應加熱、微波加熱等;好的養(yǎng)護工作決定了爐子的使用壽命， 　　真空燒結爐的真空腔體是由爐體、爐蓋和爐底組成;爐體由304不銹鋼法蘭和內外筒體組焊而成，內壁鏡面拋光，爐體上開設有壓鑄接口、噴鑄接口、旋轉電極接口、甩帶收集管、紅外測溫接口、模具預熱電源電極引入接口;爐蓋由整體實心304加工而成，上面開設有大直徑觀察窗，可直觀的觀測到爐內的各種實驗情況;爐底也是由整體實心304加工而成，固定有甩帶裝置。整體外觀啞光處理，整潔大方。 　　熔煉裝置由超音頻電源、水冷電纜、旋轉電極、線圈、保溫套和坩堝組成，通過更換線圈、保溫套和坩堝實現(xiàn)不同容量。極限溫度可加熱至1700℃。(容量按照50g,200g,500g,1000g來配)，熔煉完成后可通過手動傾倒到模具內。噴鑄裝置由氣缸、石英管、時間繼電器、氣源恒定裝置等組成，可實現(xiàn)小容量溶液的噴帶和噴鑄。(噴鑄配石英管，極限容量50g) 　　壓鑄裝置由特殊加壓裝置、壓架、底座、壓頭和母模等組成，當溶液澆鑄或者噴鑄到母模內，啟動加壓裝置對工件加壓，提高其致密性。真空燒結爐的壓鑄底部壓頭有定位槽，保證上下壓頭同心度;底部壓頭可調節(jié)高度;整套壓力架支撐在地上。爐體底部有防漏盤，防止熔液損壞真空腔體。 　　模具預熱系統(tǒng)為防止?jié)茶T到母模內的溶液冷卻過快，特在母模外部加裝感應線圈預熱，由一臺7.5Kw IGBT超音頻電源、水冷銅接頭和線圈等組成，如果不用預熱，也可取下感應線圈，用悶頭密封。預留有兩路進出水，水流量可通過流量計來控制(專門用于水冷銅模)。抽真空系統(tǒng)由一臺擴散泵、一臺雙極直聯(lián)泵、三臺氣動擋板閥、真空管路和真空計等組成，冷態(tài)極限真空度優(yōu)于6.67×10E-3Pa。爐體支架由型材和鋼板拼裝而成，門板全部采用數(shù)控加工，尺寸精度高，外表噴塑處理，整體布局合理，顏色搭配美觀。和電控柜采用一體結構。 　　另外，真空燒結爐水冷卻系統(tǒng)是由水冷機、各種閥門和水管等組成，帶有電接點水壓表，具有超壓、欠壓報警功能。